Reference materials :: Other Producers Reference Materials :: Standardní referenční materiály NIST :: Arsenic Implant in Silicon Depth Profile Standard

Description

Standard pro hloubkový profil implantace arsenu do křemíku

Product Code:

SRM2134

Availability:

Availability upon request

− +

Description

Výrobce:	NIST

Tento Standardní referenční materiál (SRM) je určen k použití pro kalibraci sekundární iontové odezvy na nízké a stopové množství arsenu v křemíkové matrici pomocí analytické techniky hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů (SIMS). SRM 2134 slouží k provedení kalibrace odezvy SIMS přístroje na arsén v křemíkové matrici za určitých instrumentálních podmínek. Také může být použit laboratoří jako referenční standard pro kalibraci pracovních standardů arsenu v křemíku. Jedna jednotka SRM 2134 se skládá z jednoho krystalového křemíkového substrátu o rozměru 1 cm × 1 cm, který byl iontově implantován izotopem 75As při nominální energii 100 keV. SRM 2134 je certifikován pro zachovanou dávku atomů 75As. Dávka je vyjádřena v jednotkách hmotnosti arsenu na jednotkovou plochu. Dodatečné neověřené informace o koncentraci atomů arsenu jako funkce hloubky pod povrchem jsou poskytovány pomocí SIMS.

Didn't find the document you were looking for?

Continue here